[BA202400364]紫外光刻机采购项目

发布日期：2024年04月30日 | 标签：光刻机招标

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公告摘要

    受业主*******委托，招标网于2024年04月30日发布中标公告：[BA202400364]紫外光刻机采购项目。
    请中标单位及时与业主相关负责人联系，及时签署相关商务合同；未中标供应商也可及时向业主提出相关质疑。于此项目有关的其他供应商也可与中标商*******联系，及时提供后续设备与服务。

    部分信息内容如下：（查看详细信息请登录）

采购信息项目编号 BA********* 项目名称紫外光刻机采购项目经办人单位电子科学与工程学院经办人董鑫预算金额 ******.** 人民币成交金额 ******.** 人民币成交供应商 ***诺壹科学仪器有限公司质保期 ** 月联系地址 **省-***-******同善桥横街**号附*号采购单位 ****电子科学与工程学院付款方式货到验收合格办理相关手续后***%付款。供应商联系手机 *********** 交货时间成交单签订后**天内交货交货地址 **省-***-**大街****号，****南校区唐敖庆楼D***室交货方式乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。包装及运费由乙方免费提供及承担验收方式以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。售后服务要求（*）紫外光刻机产品为全新。生完成后包装运输至用户指定地点，并派出专业工程师负责免费上门安装与调试，将设备恢复到原有技术状态；（*）提供产品出厂检验方法及报告、检验合格证，使用操作与维护说明书，配合用户现场验收。验收标准按合同验收条款执行；（*）设备现场安装调试完成后，负责免费为客户操作人员提供产品操作技能与维护相关知识的专业培训，培训时间及人员据用户需求确定；（*）对提供产品实行壹年质保期和永久的跟踪维护服务；（*）设备技术响应时间在 *小时内，现场技术支持响应间在**小时内， ** 小时内排除设备故障；（*）如产品在质保期内出现任何非人为的质量问题，应免费维修、更换。（*）质保期满后负责长期按成本价提供所需配件，以保证设备的后期使用，发现问题需要及时处理排除，并免收维护工程人员劳务费用。采购材料明细清单采购品目电子工业生产设备品牌名称 IOE 名称紫外光刻机产地及生产商中国-中国科学院光电技术研究所规格型号 URE-****/**AL 数量 * 计量单位台保修年限 *年单价 ******.** 人民币总价 ******.** 人民币主要技术参数 *、外形尺寸：约 ****mm（长）***mm(宽)****mm（高）； *、曝光面积：***mm×***mm； *、曝光波长：***nm； *、分辨力：≤* µm； *、对准精度：* µm； *、对准系统扫描台运动范围至少满足：Y:**mm； *、对准系统左右光管可单独XYZ向运动，X向：±*mm ,Y向：±*mm, Z向：±*mm； *、掩模尺寸：* 寸（向下兼容）； *、样片尺寸：* 寸（向下兼容）； **、适应样品厚度：*.*-*mm，最大可支持**mm的样片（定制）； **、曝光方式：定时（倒计时方式）； **、照明不均匀性：＜* %； **、双视场 CCD 对准显微镜：变倍镜头（*-* 倍）+显微物镜； **、掩模相对于样片运动行程至少满足：X:*mm, Y:*mm, θ:±*º； **、曝光能量密度：>**mW/cm*； **、对准位和曝光位双工位工作，双工位伺服电机自动切换； **、调平接触压力通过传感器保证重复性； **、可数字设定对准间隙和曝光间隙； **、触摸屏操作。

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