补充资料：动态流导法真空标准装置

动态流导法真空标准装置
vacuum standard system by continuous flow through an orifice

　　由ngtai liudcofa zhenkor均bicozhun zhuan平hi动态流导法真空标准装t(vac~stand山dsysteyn场continuous flowthI’OL吵an orifice)又称小孔法或泻流法，是由动态平衡产生已知压力来对泵乃夕 单级动态流导法标准装1原理示意图真空计G进行校准或分度的方法。图为单级动态流导法标准装置的原理示意图。由可调针阀引人到校准室的流量为口的气体通过流导为c的小孔到抽气室，最后被抽速为S的真空泵抽走。当进人校准室的气体量与通过小孔被抽除的气体量相等时，校准室内有一平衡压力p，相应地，抽气室内有一平衡压力p。。若s》c，则p》p。。可根据气体等温连续性原理，得到p的计算公式为: P=Q/C小孔流导C值，在分子流条件下可根据其几何尺寸算出。由针阀调节的不同流量Q(用流量计侧得)，在校准室内可得到不同的p值。通常要求泵的抽速S远比小孔的流导C值要大，以减少抽速测定值误差的影响及抽速波动的影响。采用多级小孔分流的设计可扩大校准下限。动态流导法只适用于分子流条件，即气体分子之间碰撞几乎不存在的情况，这也是该法校准上限受限制的原因。动态流导法的优点在于减少了被校真空计规管的吸放气效应的影响，是目前高真空和超高真空范围的主要的校准手段。中国建立的动态流导法真空标准装置的测量范围为10一’Pa一10一ZPa，扩展不确定度在10一“Pa一10一ZPa时为5%，在10一，Pa时为10%。(转葱丈)