1) total overlay accuracy
总重叠精确度
2) overlay accuracy
重叠精确度
4) registration accuracy
重合精确度
5) repeat accuracy
重复精确度
6) Overall accuracy
总的准确度，总精度
补充资料：北京有色金属研究总院生产的高精度旋压制品
北京有色金属研究总院生产的高精度旋压制品
北京有色金属研究总院生产的高精度旋压制品
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参考词条