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等离子刻蚀机(关于等离子刻蚀机简述)

冷月飘霜
精选回答

1、等离子刻蚀机,又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。

2、等离子刻蚀,是干法刻蚀中最常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。

3、某种程度来讲,等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。

4、进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。

5、工件送入被真空泵抽空的反应室。

6、气体被导入并与等离子体进行交换。

7、等离子体在工件表面发生反应,反应的挥发性副产物被真空泵抽走。

8、等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。

9、近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式,这种设计的是富有弹性的,用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法:反应性等离子体(RIE),顺流等离子体(downstream),直接等离子体(direction plasma)。

几曲换得君一笑2023-12-30 14:32:33

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    原文:
    苏子夜坐,有鼠方啮。拊床而止之,既止复作。使童子烛之,有橐中空。嘐嘐聱聱,声在橐中。曰:“噫!此鼠之见闭而不得去者也。”发而视之,寂无所有,举烛而索,中有死鼠。童子惊曰:“是方啮也,而遽死也?向为何声,岂其鬼耶?”覆而出之,堕地乃走,虽有敏者,莫措其手。
    苏子叹曰:“异哉,是鼠之黠也!闭于橐中,橐坚而不可穴也。故不啮而啮,以声致人;不死而死,以形求脱也。吾闻有生,莫智于人。扰龙伐蛟,登龟狩麟,役万物而君之,卒见使于一鼠,堕此虫之计中,惊脱兔于处女,乌在其为智也?”
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    设A是拓扑空间(X,τ)的一个子集,点x∈A。如果存在集合U,满足U是开集,即U∈τ;点x∈U;U是A的子集,则称点x是A的一个内点,并称A是点x的一个邻域。若A是开(闭)集,则称为开(闭)邻域。
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