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金属刻蚀机招标信息

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金属刻蚀机招标信息信息   
   科研用智能化尾气处理设备采购项目更正公告

招标信息 | 2024-08-13丨 广东

2台深硅刻蚀，1台金属刻蚀机台）及10台沉积设备（2台LPCVD，1台MOCVD，3台ALD，1台PECVD，1台ICPCVD，1台高温退火炉和1台氧化炉），保证所有尾气处理设备稳定运行至少一年（出具承诺函，格式自拟并加盖公章）。（3）供应商须在响应文件中提供安全可行的尾气处理设备与工艺机台的管道连 查看详情>>
   北京航空航天大学2024年8至12月政府采购意向

招标信息 | 2024-08-06丨 北京

学电子信息工程学院金属刻蚀机A02339900其他电工、电子生产设备 详见项目详情 400.000000 2024年09月 详见项目详情 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 ,北京市 查看详情>>
学电子信息工程学院金属刻蚀机项目所在采购意向： 北京航空航天大学2024年8至12月政府采购意向 采购单位： 北京航空航天大学 采购项目名称： 北京航空航天大学电子信息工程学院金属刻蚀机预算金额： 400.000000万元(人民币) 采购品目： A02339900其他电工、电 查看详情>>
   重庆大学2024年9月政府采购意向

招标信息 | 2024-07-17丨 重庆

2 重庆大学 金属刻蚀机（ICP） A02330300电子工业生产设备 详见项目详情 450.000000 2024年09月 详见项目详情 3 重庆大学 光刻键合系统 A02330300电子工业生产设备 详见项目详情 1750.000000 2024年09月 详 查看详情>>
属刻蚀机（ICP） 项目所在采购意向： 重庆大学2024年9月政府采购意向 采购单位： 重庆大学 采购项目名称： 金属刻蚀机（ICP） 预算金额： 450.000000万元(人民币) 采购品目： A02330300电子工业生产设备 采购需求概况 ： 未来芯片研究与试验测试平台 查看详情>>
1 AMAT 金属刻蚀机DPS METAL 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司 2021-06-19 2 AMAT 金属刻蚀机DPS METAL 中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司 2023-09-22 3. 第三中标候选人： / 3.1 投标价格： 查看详情>>
公司第二十四研究所金属刻蚀机成交结果公告(招标编号：GKDK-23H718)一、中标人信息：标段（包）[001]金属刻蚀机：中标人：深圳海普瑞丽科技有限公司中标价格：1300.00万元二、其他：中国电子科技集团公司第二十四研究所金属刻蚀机项目的成交候选人公示期已结束，公示期问无异议。三、监督部门本招 查看详情>>
公司第二十四研究所金属刻蚀机成交候选人公示（招标编号：GKDK-23H718）公示结束时间：2024 年 06 月 11 日 一、评标情况标段(包)[001]金属刻蚀机:1、中标候选人基本情况中标候选人第 1 名：深圳海普瑞丽科技有限公司，投标报价：1300.000000 万元，质量：合格，交货期： 查看详情>>
   8英寸MEMS晶圆生产线之金属刻蚀机中标结果公告1

招标信息 | 2024-05-20丨 江苏

EMS晶圆生产线之金属刻蚀机招标项目编号：0709-244035614008 招标范围：设备名称：金属刻蚀机设备数量：1台 设备用途：本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中钨、铝、钛、钽等金属薄膜刻蚀工艺。 招标机构：中国仪器进出口集团有限公司 招标人：安徽华鑫微纳集成电路有限公司  查看详情>>
   8英寸MEMS晶圆生产线之金属刻蚀机中标结果公告1

招标信息 | 2024-05-20丨 江苏

EMS晶圆生产线之金属刻蚀机项目编号：0709-244035614008招标范围：设备名称：金属刻蚀机设备数量：1台 设备用途：本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中钨、铝、钛、钽等金属薄膜刻蚀工艺。招标机构：中国仪器进出口集团有限公司招标人：安徽华鑫微纳集成电路有限公司开标时间：2024 查看详情>>
EMS晶圆生产线之金属刻蚀机项目编号：0709-244035614008招标范围：设备名称：金属刻蚀机设备数量：1台设备用途：本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中钨、铝、钛、钽等金属薄膜刻蚀工艺。招标机构：中国仪器进出口集团有限公司招标人：安徽华鑫微纳集成电路有限公司开标时间：2024-0 查看详情>>
EMS晶圆生产线之金属刻蚀机招标项目编号：0709-244035614008招标范围：设备名称：金属刻蚀机设备数量：1台 设备用途：本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中钨、铝、钛、钽等金属薄膜刻蚀工艺。招标机构：中国仪器进出口集团有限公司招标人：安徽华鑫微纳集成电路有限公司开标时间：20 查看详情>>
EMS晶圆生产线之金属刻蚀机招标项目编号：0709-244035614008 招标范围：设备名称：金属刻蚀机设备数量：1台设备用途：本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中钨、铝、钛、钽等金属薄膜刻蚀工艺。 招标机构：中国仪器进出口集团有限公司 招标人：安徽华鑫微纳集成电路有限公司 开标时间 查看详情>>
合同名称 等离子体金属刻蚀机采购 三、项目编号 440605-2024-01133 四、项目名称 等离子体金属刻蚀机采购 五、合同主体 采购人(甲方)：广东中科半导体微纳制造技术研究院 地址：广东省佛山市南海区狮山镇科教路1号 联系方式：0757-88591381 供应商(乙方)： 北京北方华创微电 查看详情>>
技术研究院等离子体金属刻蚀机采购的合同公告 发布机构：广东中科半导体微纳制造技术研究院 发布时间：2024-04-29 15:09:20 项目编号：440605-2024-01133 一、合同编号 440605-2024-01133 二、合同名称 等离子体金属刻蚀机采购 三、项目 查看详情>>
项目名称 等离子体金属刻蚀机采购 采购计划编号 440605-2024-01133 公告性质 正常公告 公告内容 一、合同编号 440605-2024-01133 二、合同名称 等离子体金属刻蚀机采购 三、项目编号 440605-2024-01133 四、项目名称 等离子体金属刻蚀机采 查看详情>>
同名称： 等离子体金属刻蚀机采购 三、项目编号： 440605-2024-01133 四、项目名称： 等离子体金属刻蚀机采购 五、合同主体采购人（甲方）： 广东中科半导体微纳制造技术研究院 地 址： 广东省佛山市南海区狮山镇科教路1号联系方式：0757-88591381供应商（乙方）：北京北方华创微 查看详情>>
目概况:设备名称：金属刻蚀机设备数量：1台设备用途：本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中钨、铝、钛、钽等金属薄膜刻蚀工艺。资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0709-244035614008招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线 查看详情>>
目概况:设备名称：金属刻蚀机设备数量：1台设备用途：本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中钨、铝、钛、钽等金属薄膜刻蚀工艺。资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0709-244035614008招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线 查看详情>>
目概况:设备名称：金属刻蚀机设备数量：1台设备用途：本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中钨、铝、钛、钽等金属薄膜刻蚀工艺。资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0709-244035614008招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线 查看详情>>
EMS晶圆生产线之金属刻蚀机招标公告 一、项目概况 1. 项目名称：8英寸MEMS晶圆生产线之金属刻蚀机2. 项目编号：0709-244035614008 3. 供货范围：本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中钨、铝、钛、钽等金属薄膜刻蚀工艺。 4. 质量要求：尺寸：8英寸、notch，厚 查看详情>>
   8英寸MEMS晶圆生产线之金属刻蚀机国际招标公告1

招标信息 | 2024-03-28丨 安徽

目概况:设备名称：金属刻蚀机设备数量：1台设备用途：本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中钨、铝、钛、钽等金属薄膜刻蚀工艺。资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0709-244035614008招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线 查看详情>>
   8英寸MEMS晶圆生产线之金属刻蚀机-国际招标公告1

招标信息 | 2024-03-28丨 安徽

目概况:设备名称：金属刻蚀机设备数量：1台设备用途：本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中钨、铝、钛、钽等金属薄膜刻蚀工艺。资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0709-244035614008招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线 查看详情>>
目概况:设备名称：金属刻蚀机设备数量：1台设备用途：本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中钨、铝、钛、钽等金属薄膜刻蚀工艺。资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0709-244035614008招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线 查看详情>>
   8英寸MEMS晶圆生产线之金属刻蚀机国际招标公告1

招标信息 | 2024-03-28丨 安徽

简要技术规格备注1金属刻蚀机1套两个主刻蚀腔、两个去胶腔、一个冷却腔，一个全自动传输系统（2个Loadlock，2个传输手臂），涵盖工艺系统、射频系统、气路系统、真空系统、软件系统。其他参数详见第八章8英寸MEMS晶圆生产线之金属刻蚀机- 国际招标公告中国仪器进出口集团有限公司受招标人委托对下列产 查看详情>>
   等离子体金属刻蚀机采购结果公告

招标信息 | 2024-03-26丨 广东

项目名称：等离子体金属刻蚀机采购 三、采购结果 合同包1(等离子体金属刻蚀机采购): 供应商名称 供应商地址 中标（成交）金额 北京北方华创微电子装备有限公司 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 7,500,000.00元 四、主要标的信息 合同包1(等离子体金 查看详情>>
机、等离子去胶机、金属刻蚀机和离子注入机，这些设备在生产中应用了不同种类的特气，按照国家和地方环保要求需配置相应的尾气处理设备处理工艺所产生的尾气。 预计采购时间： 2024-04 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准 查看详情>>
微纳制造技术研究院金属刻蚀机和金属镀膜机采购项目 三、采购结果 合同包1(广东中科半导体微纳制造技术研究院金属刻蚀机和金属镀膜机采购项目): 供应商名称 供应商地址 中标（成交）金额 无锡尚积半导体科技有限公司 无锡市新吴区长江南路35-312号厂房 20,100,000.00元 查看详情>>
   等离子体金属刻蚀机采购招标公告

招标信息 | 2024-03-01丨 广东

概况 等离子体金属刻蚀机采购招标项目的潜在投标人应在广东省政府采购网https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/获取招标文件，并于 2024年03月25日 09时00分 （北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：440605-2024-01133 项目名称：等离子 查看详情>>
   等离子体金属刻蚀机采购招标公告

招标信息 | 2024-03-01丨 广东

属刻蚀机采购招标公告 发布机构：广东华伦招标有限公司 发布时间：2024-03-01 10:00:57 采购计划编号：440605-2024-01133 预算金额：8,000,000.00 元 采购品目：其他试验仪器及装置 代理机构：广东华伦招标有限公司 项目经办人：潘志杰 项目负责人 查看详情>>
概况 等离子体金属刻蚀机采购招标项目的潜在投标人应在广东省政府采购网https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/获取招标文件，并于 2024年03月25日 09时00分 （北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：440605-2024-01133 项目名称：等离子 查看详情>>
   等离子体金属刻蚀机采购-采购计划

招标信息 | 2024-03-01丨 广东

属刻蚀机采购 440605-2024-01133 一、采购人： 广东中科半导体微纳制造技术研究院 二、采购计划编号： 440605-2024-01133 三、采购计划名称： 等离子体金属刻蚀机采购 四、采购品目名称： 其他试验仪器及装置 五、采 查看详情>>
发，目前先导中心的金属刻蚀机只能满足线宽大于500nm的加工能力，且没有真空下的微波低损伤去胶模块，无法满足细线宽加工能力和后腐蚀控制能力；此外，微电子所已有设备不具备项目验证14nm高密度体硅Fin刻蚀的能力；综上，需要购置这种上述刻蚀能力的刻蚀系统。 预计采购时间： 2024-12 备注 查看详情>>
公司第二十四研究所金属刻蚀机终止公告(招标编号：GKDK-23H718)一、内容：本项目截至投标文件递交截止时间，递交投标文件的投标人不足3家，不满足开标条件，现终止木次招标活动。二、监督部门木招标项目的监督部门为中国电子科技集团公司第二十四研究所。三、联系方式招标人：中国电子科技集团公司第二十四研 查看详情>>
微纳制造技术研究院金属刻蚀机和金属镀膜机采购项目招标项目的潜在投标人应在广东省政府采购网https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/获取招标文件，并于 2024年02月28日 09时00分 （北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况 项目编号：GZGK24D021A0042Z 项目名称 查看详情>>
微纳制造技术研究院金属刻蚀机和金属镀膜机采购项目招标项目的潜在投标人应在广东省政府采购网https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/获取招标文件，并于 2024年02月28日 09时00分 （北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：GZGK24D021A0042Z 项 查看详情>>
   金属刻蚀机和金属镀膜机采购

招标信息 | 2024-02-03丨 广东

三、采购计划名称 金属刻蚀机和金属镀膜机采购 四、采购品目名称 其他试验仪器及装置,其他试验仪器及装置 五、采购预算金额（元） ￥21,300,000.00 六、需求时间 七、采购方式 公开招标 八、备案日期 2024-02-03 17:29:20 广东中科半导体微纳制造技术研究院 2024年02月 查看详情>>
   金属刻蚀机和金属镀膜机采购-采购计划

招标信息 | 2024-02-03丨 广东

属刻蚀机和金属镀膜机采购 440605-2024-00765 一、采购人： 广东中科半导体微纳制造技术研究院 二、采购计划编号： 440605-2024-00765 三、采购计划名称： 金属刻蚀机和金属镀膜机采购 四、采购品目名称： 其他试验仪器及装置 查看详情>>
公司第二十四研究所金属刻蚀机招标公告(招标编号：GKDK-23718)项目所在地区：重庆市一、招标条件木中国电子科技集团公司第二十四研究所金属刻蚀机已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为其他资金国拨，招标人为中国电子科技集团公司第二十四研究所。本项目已具备招标条件，现招标方式为公开招标。二 查看详情>>
公司第二十四研究所金属刻蚀机终止公告(招标编号：GKDK-23H718)一、内容：本招标项目金属刻蚀机（招标编号：GKDK-23H718),至招标文件发售截止时间止，领取招标文件的潜在投标人不足法定开标条件，本次招标活动终止特此公告。二、监督部门本招标项目的监督部门为中国电子科技集团公司第二十四研究 查看详情>>

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