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光刻机的作用

半首蝶恋花
精选回答

光刻机的作用有用于生产芯片的光刻机,有用于封装的光刻机,还有用于LED制造领域的投影光刻机。用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,本次厦门企业从荷兰进口的光刻机就是用于芯片生产的设备。

工作原理:

在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。

一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。经过一次光刻的芯片可以继续涂胶、曝光。越复杂的芯片,线路图的层数越多,也需要更精密的曝光控制过程。

难得糊涂2023-10-05 15:52:58

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    译文:
    所有的山,飞鸟全都断绝;所有的路,不见人影踪迹。
    江上孤舟,渔翁披蓑戴笠;独自垂钓,不怕冰雪侵袭。
    2、《春雪》唐代韩愈:
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    译文:
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    白雪也嫌春色来得太晚了,所以有意化作花儿在庭院树间穿飞。
    3、《雪》唐代罗隐:
    尽道丰年瑞,丰年事若何。
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    译文:
    都说瑞雪兆丰年,丰年情况将如何?
    长安城里有穷人,我说瑞雪不宜多。
    4、《夜雪》唐代白居易:
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    译文:
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    译文:
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