6轴纳米定位系统SMARPOD P-SL
发布时间：2020-05-06 13:40
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6轴纳米定位系统 六足式 带有并联机构SMARPOD P-SLL SmartPOD P-SLL S martPOD P-SLL 利用 SLL 系列的三个车厢来实现长行程范围。 SMARTPOD P-SLL 基于用于 Y 方向运动的 SLC 级和 X 方向的 SLL 级。 由于这种不同线性级的特殊组合，P-SLL 在 X 方向上提供了极大的行程范围，最高可达 1200 mm，同时在 Y 方向上保持较小的占地面积。 它也可作为高真空兼容版本。 旅行 [毫米] 20... 1200（X）；45... 119（Y）；≤ 16（Z） 旅行 [≤ 42（Z）；≤ 33（X）；≤ 42（X） 最大值。 正常力 [N] 10 最大值。 水平力 [N] 5 尺寸 [mm] > 250 x 93 平台地上高度 [毫米] 67.5 重量 [克] 300... 2000 闭环 传感器类型；SC 最小增量 [nm] 1 最小增量 [μrad] 1 闭环重复性 [nm]< ± 200（全行程范围）；< ± 15（1mm 线性行程）闭环重复性 [rad]< ± 10
6轴纳米定位系统SMARPOD P-SL附件
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SOLIDWORKS
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_smarpod-p-sll.stp
5.25MB
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