wafer12寸晶圆旋转定位机构
发布时间：2021-07-17 14:48
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(1/4) 晶圆工作台
该机构是半导体封装设备的标准机构，wafer table模组含有由直线电机驱动的XY模块，以及由电机驱动的Z轴以及旋转机构，适用于生产12英寸晶圆。内含stp图档，欢迎下载使用！
wafer12寸晶圆旋转定位机构附件
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