微纳结构分类:
1、DOE通常采用微纳刻蚀工艺(现在一般使用其中的纳米压印技术)构成二维分布的衍射单元,每个衍射单元可以有特定的形貌、折射率等。
2、超透镜、超表面。
3、衍射光栅(线性、棋盘、闪耀、倾斜、全息),衍射光栅的母版分为两种类型:刻划光栅(直纹光栅)和全息光栅。
4、微透镜阵列:微透镜阵列是由通光孔径及浮雕深度为微米级的透镜组成的阵列。
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