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>扩散硅绝对压力传感器的工作原理与结构及补偿方法的详细资料研究
扩散硅绝对压力传感器的工作原理与结构及补偿方法的详细资料研究
2020-03-11
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资料介绍
本文简要介绍了扩散硅绝对
压力传感器
的
工作原理
与结构, 重点分析了
传感器
的零位温度系YJ数与灵敏度温度系数及其温度补偿的方法, 解决了此类传感器的稳定性问题。
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