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厂商产品 +关注0人关注微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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电子发烧友网报道(文/刘静)MEMS传感器主要是利用半导体制造工艺和材料,加工微型机械结构形成的传感器和执行器,然后匹配2024-05-20标签:13580
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2024年5月17-18日,全球汽车热管理系统创新技术大会(WVTMS)于上海召开,美泰公司受邀携MEMS汽车传感器系列2024-05-19标签:2200
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SOI是Silicon On Insulator的缩写,是指在氧化膜上形成了单晶硅层的硅晶圆。已广泛应用于功率元件和MEMS等,在MEMS中可以使用氧化...2024-04-29标签:2520
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传统的大尺寸振镜采用两个独立的电磁旋转模块(VCM),驱动两个正交反射镜。光束从两个正交反射镜反射,产生双轴光束偏转。角度传感器是集成的。驱动和控制电子...2024-04-29标签:1940
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一般的共享电源和数据接口经过编码,可减少信号直流成分,从而在发送交流信号成分时简化系统设计。但是,许多数字输出传感器接口(例如,SPI和I2C)尚未经过...2024-04-09标签:3420
你怎么知道你在哪里?什么是真实的?这是传感器融合应该回答的问题。不是以哲学的方式,而是字面上的“我会自动撞入白宫吗?因为我被告知不要这样做”,这种方式内...
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