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北方华创资讯

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  北方华创微电子装备有限公司获半导体加工腔室专利
  此项发明涉及一种半导体加工腔室，主要由腔体、可升降的基座以及内衬组件构成。内衬组件包含上内衬及下内衬，上内衬环绕腔体侧壁，下内衬则固定在外周基座上，并设...
  2024-05-29
  标签：
  半导体
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  北方华创微电子获加热器及设备专利
  这项申请致力于提供一种半导体设备的新型加热器及其适用范围，包括了加热盘和第一冷却元件两个关键部件。其中，加热盘被设计成可放置在半导体设备的腔体内，其底部...
  2024-05-28
  标签：
  加热器
  北方华创
  半导体设备
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  北方华创微电子：晶圆清洗设备及晶圆定位装置专利
  该发明涉及一种晶圆清洗设备及晶圆定位装置、定位方法。其中，晶圆定位装置主要用于带有定位部的晶圆定位，其结构包括密封腔体、密封盖、承载组件、定位组件和导向组件。
  2024-05-28
  标签：
  晶圆
  清洗设备
  北方华创
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  北方华创公开“半导体设备及磁控管组件”专利
  该发明涉及半导体工艺技术领域，提出的磁控管组件包括至少两个滑槽，滑槽两端分别位于两个不同直径的圆周上，并与转盘径向呈一定夹角。每个滑槽内置有一个或者多个...
  2024-05-16
  标签：
  磁控管
  半导体工艺
  北方华创
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  北方华创微电子装备有限公司“半导体设备及其晶舟”专利公布
  具体来说，这种晶舟包括副晶舟支架，能够在批量半导体工艺处理达到预定进度时，以上下层叠的方式支撑多个晶圆，使其暂时离开主晶舟支架。当主晶舟支架旋转至特定角...
  2024-04-19
  标签：
  晶圆
  半导体工艺
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  北京北方华创微电子装备公司研发新型电源控制技术与装置、半导体
  此项技术主要涉及到电源控制以及半导体工艺设备领域。具体而言，该专利包括如下步骤：首先，启动待控制电源；接着确定该待控制电源是作为上极电源还是下极电源工作...
  2024-04-15
  标签：
  电源
  半导体工艺
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  北方华创微电子装备公司半导体工艺设备传输腔室专利公示
  此项专利主要涉及半导体工艺技术领域的设备改进，包含腔室主体、机械手和环状体等部件。其中，机械手的固定端与腔室主体的底壁紧固衔接；而环状体则呈环绕状布置在...
  2024-04-13
  标签：
  半导体
  机械手
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北方华创微电子获新专利：半导体腔室设备简化调平步骤

近日，北京北方华创新型微电子旗下的子公司——北京北方华创微电子装备有限公司，成功获得一项名为“半导体腔室及设备”的重要发明专利。

2024-04-03标签：半导体反应器北方华创1790

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