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微机电系统

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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。

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微机电系统技术

如何在OpticStudio中建模DMD呢?有哪些步骤?

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数字镜阵列 (DMD) 或微机电系统 (MEMS) 由一组小型矩形反射镜组成。每个镜子可以有不同的倾斜度。

2024-03-04标签:memsdll微机电系统6850

加速度传感器常用的有哪两种

加速度传感器常用的有两种,一种是基于压电效应的压电式加速度传感器,另一种是基于微机电系统(MEMS)技术的微型加速度传感器。 压电式加速度传感器是利用压...

2024-01-15标签:

3890

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微机电系统资讯

凯米斯科技发明专利家族再添一员

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喜报热烈祝贺科技创新近日,凯米斯科技又一项发明“一种用于检测自来水的MEMS余氯电极”(专利号:ZL202210259067.1)荣获国家专利局审批通过...

2024-05-17标签:检测自来水微机电系统1290

ATA-3040C功率放大器在MEMS传感器超声波喷涂中的具体应用

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MEMS传感器即微机电系统(MicroelectroMechanicalSystems),是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感...

2024-05-16标签:传感器功率放大器mems1620

聚焦MEMS!这个重点实验室揭牌

来源:光明网,谢谢 编辑:感知芯视界 Link 5月8日,微纳传感与智能微系统重庆市重点实验室在北京理工大学重庆微电子研究院(下称北理工重研院)揭牌成立...

2024-05-13标签:mems微机电系统2270

基于微机电系统的智能手表

微机电系统采用的是梳状驱动式致动器。要理解其工作原理,可以设想两个梳齿间隔很大的梳子,它们面对面摆放,梳齿交错。

2024-04-28标签:mems步进电机微机电系统2690

基于Sb/ZnO纳米结构的气体传感器实现臭氧检测

自全球变暖加剧以来,由于对自然和人类的影响,导致全球变暖的气体一直受到监测。臭氧(O₃)是造成全球变暖的气体之一,它是一种淡蓝色的气体,具有独特的刺激性...

2024-04-01标签:

2650

苏州敏芯获MEMS麦克风结构专利

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这款独特的设计由以下几个重要部件组成:首先是基板,然后是封装壳体置于基板之上,围合成空腔,在空腔的一面布置有MEMS(微机电系统)芯片和ASIC(专用集...

2024-03-29标签:asic基板微机电系统1720

敏芯股份推出一款医用过程控制气体质量流量传感器模组MF1250

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随着医疗领域发展以及流行性疾病的防治,多种医疗设备如呼吸机、制氧机、雾化器、麻醉机等走进人们的视野。

2024-03-13标签:

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晶圆键合设备:半导体产业链的新“风口”

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晶圆键合是一种将两片或多片半导体晶片通过特定的工艺条件,使其紧密结合并形成一个整体的技术。这种技术在微电子、光电子以及MEMS(微机电系统)等领域有着广...

2024-02-21标签:

6410

玻璃气密封装技术:MEMS器件的理想解决方案之一

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通过将微型机械和电子组件集成于单个衬底,微机电系统(MEMS)改变了众多行业,促进了高灵敏度和高效能器件的构建。

2024-02-21标签:晶圆微机电系统MEMS器件6280

深迪半导体新增比亚迪等股东,注册资本增至1825.8303万美元

作为中国第一家专注研发设计消费级和汽车级微机电系统(MEMS)陀螺仪系列惯性传感器的企业,深迪自2008年以来,通过自主创新,成功推出了一款具重大影响力...

2023-12-26标签:传感器陀螺仪微机电系统3320

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